超快激光-PS
皮秒脉冲激光器是指脉冲宽度在皮秒(1 ps = 10-12秒)量级的激光器。它是超快激光家族的核心成员之一(另一个是飞秒激光器)。与纳秒激光器相比,其脉冲持续时间极短,在物质吸收能量还来不及将热量传递到周围区域之前,就完成作用过程。这种独特的“冷加工”机制,使其在精密加工、前沿科研和医疗等领域实现了革命性的突破。
1.皮秒激光产生的原理
皮秒脉冲的产生,其核心原理是锁模技术(Mode-Locking)。锁模技术的本质是让激光谐振腔内所有纵模(不同频率的激光模式)的相位保持一致(锁定),使它们发生相干叠加,从而在时域上产生一列间隔极其短暂、脉冲宽度极窄的超短脉冲。
皮秒超快脉冲的测量
锁模的具体实现方法:
1.1 被动锁模:通常使用可饱和吸收体或利用非线性效应。
(1)可饱和吸收体锁模(如SESAM):与被动调Q类似,但其恢复时间极快,允许脉冲以极高的重复频率(通常为MHz量级)形成和通过。
(2)Kerr透镜锁模(KLM):利用增益介质(如钛宝石晶体)的克尔效应(折射率随光强变化)。高强度的光脉冲会产生自聚焦效应,形成一种“虚拟”的光阑,使其自身损耗小于连续光或低强度光,从而实现脉冲的自我锁定和压缩。
1.2 主动锁模:在腔内插入一个外部调制器(如声光或电光调制器),并以其频率(等于纵模间隔)来调制激光的损耗或相位,强制所有纵模同步。这种方式稳定性高但脉冲通常较宽。
由于皮秒脉冲的峰值功率极高,直接在振荡级放大会导致非线性效应甚至损坏元件。CPA(啁啾脉冲放大技术)是超快激光的另一大基石:首先将种子脉冲在时域上展宽(降低峰值功率);然后安全地通过放大器进行能量放大;最后将放大后的脉冲压缩回原来的皮秒宽度,从而获得既具有高能量又具有超短宽度的巨脉冲。
2.皮秒激光器的主要分类
按其增益介质,皮秒激光器可以分为固体、半导体、光纤皮秒激光器等类型。
2.1 固体皮秒激光器:
采用LD泵浦Nd:YVO₄或 Nd:YAG晶体, 通过被动或主动锁模技术产生皮秒脉冲,是较早的技术路线。近年来。采用增益介质(如薄片状的Yb:YAG等晶体)制作的碟片式皮秒固体激光器,大大提升了激光器的平均功率和脉冲能量,适用于重工业加工。
2.2 半导体皮秒激光器:
通过高频脉冲电路对低功率半导体激光器供电,可以实现皮秒激光输出。这是一个简便的方法,但受限于脉冲电路上升和下降沿的时间,半导体激光的工作电流越大,脉冲宽度就越大,一般在50-100ps以上。
2.3光纤皮秒激光器(放大器):
一般采用低功率的固体皮秒激光器或半导体皮秒激光器作种子源,通过光纤放大器实现高功率或高能量的输出。光纤皮秒激光器(放大器)的光束质量好(M²接近1)、散热性能优异、结构紧凑、稳定性高、维护简单。是目前工业应用领域最主流的皮秒激光器。
2.4 钛宝石皮秒激光器:
增益介质一般采用钛蓝宝石晶体,特点是调谐范围宽(约680-1100 nm),是科学研究的利器。但它需要其他激光器(如绿光激光器)作为泵浦源,系统复杂、成本高。CNI可提供理想的钛宝石泵浦用的532nm单频激光器和超低噪声激光器光源(型号为MLL-K-532 )。
3.皮秒激光器的应用
皮秒激光的“冷加工”特性(或称“冷消融”)是其所有高端应用的基础。由于作用时间远小于电子-晶格热弛豫时间(~1-10 ps),能量几乎来不及以热的形式扩散,材料直接被电离、蒸发,热影响区(HAZ)微乎其微。
3.1 超高精度工业微加工
这是皮秒激光最大的应用市场,尤其是在消费电子领域。
(1) 脆性材料精密加工:OLED/柔性显示屏、玻璃/蓝宝石切割、半导体晶圆划片等。
(2)薄膜加工与剥离:光伏行业的PERC电池的钝化层划槽、精确剥离ITO等透明导电薄膜等。
(3)表面微结构制备:制造防伪图案、增透微结构、疏水表面等。
(4)微钻孔:在燃油喷嘴、医疗导管等产品上钻出微米级孔洞。
3.2 医疗与美容
(1)飞秒激光手术(LASIK制瓣)、白内障手术
(2)美容祛斑。
3.3 前沿科学研究
皮秒激光是探索超快过程的“高速摄像机”。
(1)超快光谱学:用于研究化学反应动力学、光合作用过程、量子材料中的载流子弛豫等发生在皮秒到飞秒量级的超快微观过程。
(2)多光子显微成像:皮秒激光可作为激发光源,实现对生物活体样本的高分辨率、深层次成像,无需切片染色。
(3)高次谐波产生(HHG) & 阿秒脉冲产生:用于产生极紫外(EUV)波段的光源和阿秒脉冲,是探测原子内电子超快动态的工具。
4.典型的皮秒激光器
CNI可提供脉冲宽度1-1000ps的固体、半导体和光纤皮秒激光器产品,典型波长涵盖213、266、280、295、310、343、355、375nm紫外,405、450、488、515、532、540、560、590、620、633、660nm可见光,以及775、852、1030、1050、1064、1070、1080、1550nm红外,470-2400nm可调谐等。欢迎大家访问www.cnilaser.com/ 了解。
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皮秒超快激光器代表了精密加工业的未来方向。它通过其无可比拟的冷加工优势,解决了纳秒激光在热影响区、加工精度和材料适用性上的瓶颈,开启了在微米甚至纳米尺度上对材料进行“手术刀”式加工的新时代。尽管其成本更高,但在高附加值产业中对提升产品性能、良率和可靠性方面带来的价值,使其正迅速从实验室走向规模化工业生产线。